《一种逐层沉积制备钙钛矿薄膜的设备及制备方法》

技术简介：

本发明属于太阳电池技术领域,尤其涉及一种逐层沉积制备钙钛矿薄膜的设备及制备方法,该设备包括主真空室、内嵌真空室和真空泵,主真空室内设置若干用于承载并蒸发铅盐的高温蒸发源,内嵌真空室设置在主真空室内,内嵌真空室的底部设置有用于将主真空室和内嵌真空室隔离或连通的快门结构,快门结构位于高温蒸发源上方,内嵌真空室内设置有用于放置基片的基片架和用于对基片加热的加热器,本发明采用主真空室内嵌真空室的方法,利用快门隔离两个真空室,将钙钛矿薄膜沉积过程分成了若干个循环,实现了逐层沉积,克服了基于气相沉积的两步反应法无法精准制备厚钙钛矿薄膜的难题。

研发人员：丁建宁;丁鑫;袁宁一;王书博;李绿洲;董旭