技术简介：
一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置,该新型石英舟装置结构为内部由10-13个石英舟花篮、若干支杆、左右舟托、四根舟杆所组成。本发明主要目的是提升扩散产能并改善扩散均匀性,采用新型设计的石英舟,可有效地解决产能低,扩散均匀性差,大大提高了产能及电性能良率。
研发人员：吴王平;张屹;丁建宁
