《一种高效低成本晶硅电池的分步式磷掺杂方法》

技术简介：

本发明属于太阳能电池制造技术领域,涉及一种高效低成本晶硅电池的分步式磷掺杂方法,即一次耗尽扩散结合二次高浓度浅层扩散及返刻方法。通过控制氧气流量、氮气流量和三氯氧磷流量在p型硅衬底上进行第一次低温低磷源沉积,然后经过长时间的高温推进,耗尽磷硅玻璃里的磷,实现低表面浓度层n+,第二次在无磷玻璃上沉积、推进提高表面浓度,形成很薄的高浓度层n++,可以利用返刻方式很快被刻蚀掉。该方法可以独立精确控制不同区域磷掺杂分布,以保证非电极区具有低掺杂浓度,较低的复合电流,从而保证较高的开路电压；而电极区具有高掺杂浓度,与金属电极接触形成良好的欧姆接触,保证填充因子不受损失,从而整体提升电池的光电转换性能。

研发人员：丁建宁;叶枫;袁宁一