《Sm掺杂核-壳结构介孔SiO_2@CeO_2复合颗粒的制备和抛光性能》

技术简介：

在低模量介孔SiO_2(Mesoporous silica, mSiO_2)微球表面负载Sm掺杂CeO_2纳米粒子,制备了具有均匀完整核-壳结构的非刚性mSiO_2@Ce_(1-x)Sm_xO_2(x=0, 0.23)复合颗粒。借助XRD、 SEM、 HRTEM、 STEM-EDX Mapping、 Raman光谱和N_2吸-脱附等技术对产物进行结构表征,利用AFM和三维光学轮廓仪评价Sm元素掺杂处理对mSiO_2@Ce_(1-x)Sm_xO_2(x=0, 0.23)复合颗粒抛光效果的影响。讨论了Sm掺杂复合磨粒的高效无损超精密抛光机制。结果表明:掺杂处理可使mSiO_2@Ce_(1-x)Sm_xO_2(x=0, 0.23)复合颗粒的抛光效率提高近36%,达到84 nm/min,同时获得具有原子量级精度的加工表面,抛光后SiO_2薄膜的粗糙度平均值和均方根分别为0.14和0.17 nm。

研发人员：陈爱莲;王婉莹;马翔宇;蔡文杰;陈杨;