《一种制备大面积钙钛矿薄膜的装置和方法》

技术简介：

本发明涉及太阳电池技术领域,尤其涉及一种制备大面积钙钛矿薄膜的装置和方法。装置包括真空腔体以及快速抽真空泵组,真空腔内设有带小孔的金属平面电极,金属电极后排列红外石英加热管,红外辐射通过小孔能起到均匀红外光的效果。平面电极和基底中间还有用于降低等离子轰击效果的金属网。真空腔体还带有一个补充惰性气体的微量控制阀门。经过旋涂或者涂布的钙钛矿湿膜进入腔体后,腔体快速降低压强到5Pa左右,湿膜中的溶剂大部分挥发,此时开启微量阀门补充惰性气体,维持腔体压强稳定,开启射频电源,形成等离子体,促进薄膜结晶,之后,腔体放气,然后开启红外辐射1-5分钟进一步促进钙钛矿的生成。

研发人员：袁宁一;王书博;丁建宁