技术简介：
本发明属于金属表面处理技术领域,尤其涉及一种制备氮碳化物复合涂层的工艺方法：基体的活化后,开启Cr靶电源,利用磁控溅射技术在基体表面沉积Cr过渡层,再通入氮气和氩气的混合气体,并利用磁控溅射技术在Cr过渡层表面沉积CrN层；停止混合气体的通入并切断Cr靶的电源,然后通入氩气、甲烷的混合气体,利用等离子体反应技术使CrN层表层原位转化为CrC层。
研发人员：潘太军;徐庆松;李远士;刘卫
